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HEATER SIC OTHERS OVERHAUL

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Gas Supply Method:TEOS Manifold Box
阀件分流箱
常与LCSS-200和BCSS连接，用于将大的bulk tank中化学品补液到lds中提供更多的管道连接
可以扩容8-12个管道

化学品不断供设备，Ozone Water Generator System设备等产品
半导体附属产品（ESC,HEATER,阀门）的贩售与维修服务
半导体零配件（金属件，陶瓷件，石英件）销售以及逆向生产服务

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